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Agilent VacIon Plus 55 离子泵抽速为 55 L/s，常用于通用超高和很高真空系统，用于真空电子设备、灵敏电子显微镜，以及在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中获得 UHV 压力。
安捷伦专有的三极离子泵元件为惰性气体和氢气提供了的抽速，并为甲烷、氩气和氦气提供了最高容量。提供光学挡板、集成加热器和高压真空通导件等选项，可轻松实现系统集成。
特性
Agilent VacIon Plus 55 离子泵可选择三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元，以为不同气体提供最佳抽速
配备 ConFlat 4.5 英寸旋转型或非旋转型法兰、额外 2.75 英寸 ConFlat 孔，可选不同方向的真空穿导件（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可很大程度减少系统干扰
在 > 400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局，还可配备光学挡板、外部加热器和屏蔽磁体，满足您的需求
SEM 版本具有低漏电流和高稳定性，可将电子干扰降至很低
可以根据您的具体需求添加特殊测试程序
性能指标
加热器电压 |
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加热器电源 |
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单元类型 |
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工作寿命 |
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抽气口法兰 |
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最大启动压力 |
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最高烘烤温度 |
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极限真空 |
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真空高压接头类型 |
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重量（只有泵时） |
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工作原理
二极离子泵元件技术
二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成，它们浸没在磁场中，使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子，从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速，穿透 Ti 层，而较重离子撞击阴极，使 Ti 溅射，并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。
三极离子泵元件技术
阴极无法捕获惰性气体（如氩气），因此必须将它们传输到阳极进行泵送。这些原子有两种传输方式：使用较重的阴极材料（钽）或不同的几何形状（三极泵）。三极离子泵由安捷伦（原瓦里安）基于改进的阴极几何结构发明。星形阴极增加了惰性气体作为高能中性粒子传输的概率，而钛阴极可确保为 XHV 范围内的残留气体 H2 提供高抽速。
SEM 阳极设计
由于泵产生的离子流与真空度成正比，在许多应用（如扫描电子显微镜 (SEM)）中，离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加，因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流，安捷伦申请了一项阳极设计，该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须"。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流，确保更好的压力读数。
